详细说明
电子枪
用途:用于各种电子束镀膜机,特别适于镀制较高要求的光学薄膜。
特点:
l 结构形式:枪头为开放式,电子束偏转靠的是永磁铁,电子束运动轨迹为270°,发射电流的稳定性优于±2%;使用***到个位数的数显表显示束流,通常只能观察到±1mA的数字变动(比如调整到500mA,数字量一般在499~501之间);
l 束流调整线性化,用手控盒时,束流旋钮一圈对应100mA束流,使用晶控控制时,POWER10%对应100mA束流,20%对应200mA束流,等等;
l 高压从-4KV到-10KV连续可调,并带稳压功能,电压调整率非常小,即束流从小到大调节时,高压基本不会变化;快速灭弧电路可在1ms之内切断打火电弧,如果电弧能量超出了快速灭弧电路的工作范围,高压复位电路启动,高压和束流电路切断,待电弧消失后自动复位;
l X、Y扫描范围为±15mm,X、Y位移范围为±15mm;位移和扫描全部可以通过电脑设定;束流变化时,光斑位置不会变化;蒸发面平整,不会出现扎小坑现象(如SIO2,MGF2);
l 扫描频率:横向500Hz,纵向50Hz;
l 高压电极为陶瓷焊接结构,真空室外接线部位有聚四氟乙烯套筒保护;
l 可以使用的真空度:7X10-2Pa以下;
l 功率:10kW;输出稳定性小于±2%;纹波小于±5%