低温泵的再生需要具备哪些条件?
评论:0 浏览:107 发表于:2019-06-21

因低温泵应用场合而异,对连续抽气过程来说,一般只要满足下面两个条件中的一个,低温泵就需要再生。
1、再生时间
①根据运转周期,定期进行再生。
②制冷能力降低时(温度达不到20K以下;真空度差),进行再生。
2、再生种类
①通常再生:3~8h。
②急速再生:当泵内含有毒性、腐蚀性、可燃性气体以及大量的O2、水时,泵停止后,进行短时间再生。
3、急速再生的实施
通常通过加热的方式进行。用电加热器对低温泵进行加热回温,点加热再生对于泵的冷阵提供了最快和最完善的再生,因此允许在超高真空范围的泵中使用,因为来自第一级的凝聚水蒸气在再生期间不会变成液态并使冷阵饱和,所以是很完善的。
4、再生的起始条件:
(1)低温泵在无其他附加热负荷时,二级冷头温度超过20K或一级冷头温度超过130K;
(2)高真空阀门关闭5min后泵内压强在1×10-4Pa以上。
特别提醒:由于低温泵是吸附型的泵,它属于储存过程气体的。因此,再生时,必须对前级泵、前级真空阀以及前级压力进行可靠监控。同时危险气体可能从前级泵排出。且前级阀和前级泵一定要打开,不然低温泵的压力很可能会跳到正压,前级泵的排气口必须与适当的排气管线连接。
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