低温泵设施的安装与要求注意事项

　　在安装低温泵时，要注意各个部件的安装，其中需要特别注意的是，金属软管内维持着1.4-1.5MPa的高压，所以应非常小心的使用以防止损坏，也不能装反。

　　1、安装设施及要求

　　①前级泵—低温泵要求一台前级泵预抽真空室，抽到低温泵的启动压力，并且可以在低温泵再生时可以抽除再生期间产生的气体。

　　②吸附井—安装水冷挡板，如果油蒸汽返到低温泵，可以使它的吸附阵被污染，则必须更换吸附阵。

　　③高真空阀门—安装在低温泵与真空室之间，这样可以缩短启动时间，还可以实现在真空室不放气的情况下再生低温泵，还可以随时对真空室进行检漏。

　　④预抽阀---在低温泵的预抽接口处，必须安装一只阀门，该阀门在预抽和再生时是打开的，而在低温泵运行期间是关闭的，另外还有一只是用来用同一台机械泵对真空室进行预抽的。

　　2、安装压缩机

　　①确保压缩机放置在稳固的水平面上。

　　②静态氦压-关闭压缩机并使其处于室温下，压力的指示应该在1.4-1.5Mpa之间，如果压力指示偏低，则需要补充些He气(99.999%的纯度)

　　③连接压缩机的冷却水管，供、排水管与水冷压缩机的连接准确。

　　3、安装低温泵

　　①高真空法兰连接

　　低温泵可以借助其高真空法兰固定在真空室需要的任何地方，在安装前请检查“O”型圈是否完好，以其表面无压痕和杂物为准则。

　　②抽气接口和安全阀的连接

　　低温泵在运行过程中，不能排气，所以在启动以前需要利用机械泵等粗抽泵通过抽气接口来预抽低温泵，并可以作为在再生时所释放的气体的出口。要保证把低温泵的抽气接口接到相应尺寸的前级泵上去。

　　4、连接低温泵和压缩机

　　①把低温泵和压缩机，以及金属软管上所有自密封接头上的保护帽取下。

　　注意：在如下的步骤中，决不可以使用清洁剂去擦拭自密封接头。

　　②在进行连接之前必须保证接头上没有灰尘、油迹、颗粒杂物等，必要时用一柄刷子去清洁螺纹，用一块没有棉丝的软布去擦拭密封面上的任何赃物。

　　③连接金属软管，按照气流方向连接软管，从压缩机开始到低温泵(注意高、低压标志)，然后从低温泵到压缩机，用两个扳手去拧紧每一只自密封接头以保护软管不至于扭曲而漏气，适度拧紧每一只接头。连接好之后在检查压缩机的压力表的指示，如果在1.3～1.5MPa，则正常，如果低于此值则如前面所述的用纯度大于99.999%的氦气再补充些。