低温泵的三大性能特点你知道吗

　　低温泵又称冷凝泵，是利用低温表面冷凝气体的真空泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

　　1、泵入口压力高

　　液化气体通常在常温、常压下为气体，只有在一定压力和低温条件下才变为液体。如乙烯装置中，甲烷的液化条件为3MPa，-100℃;乙烯的液化条件为2MPa，-30℃。

　　2、汽化压力随温度而剧变

　　低温泵输送的液化气体通常都处于饱和状态(或有微量过冷度)。这种液体的汽化压力随温度变化非常显著。一般当温度变化±25%时，汽化压力可变化±(100%~200%)，同时介质的密度、比热容、蒸发潜热等物理性质也都将发生变化。例如温度上升时，蒸汽压急剧增高、密度减小、比热容增大、蒸发潜热减小，使液化气体更易汽化，且增高进口压力，从而影响泵体强度;又如温度下降过多时，吸液槽内蒸汽压力随之下降，而且在流经吸入管路时，也容易从外界吸热升温，这样都会造成NPSHa的下降，使吸入汽蚀性能恶化，因此必须对吸入管路进行充分保冷，使吸液槽内温度不经常波动。同时管路中应尽量不设球形阀、节流孔、滤网等节流装置，以免引发局部压力下降，使液化气体汽化。

　　3、对轴封要求严格

　　绝大多数液化气体都具有腐蚀性和危险性，因此不允许泄漏到外界;一旦漏出液化气体，由于液化气体的汽化吸热易造成密封部位的结冰，因此输送液化气体的低温泵对轴封的要求很严格。